Den tyska staten ökar subventionerna från 6,8 till 9,9 miljarder euro samtidigt som Intel lovar utöka investeringen i Magdeburg från 17 till 30 miljarder euro.
Det har gått ett drygt år sedan Intels höll en webbsänd presskonferens om sina planer för Europa där de två tyska fabrikerna var kronjuvelen. Därefter har förhandlingarna gått trögt, Intel har velat ha mer subventioner med hänvisning till inflationen och höga elpriser.
Den tyska staten har hållit emot om man ska tro läckor till tyska media.
Men nu har parterna nått en kompromiss där subventionerna blir större samtidigt som Intel investerar mer i en mer avancerad processnod än först tänkt.
Resultatet blir att subventionerna sjunker från 40 procent till 33 procent av den totala kostnaden.
Processen har försenat byggstarten så de första kretsarna kommer först i slutet av 2027 eller 2028.