Integrerade mikrovågssystem på kisel kan bli verklighet med ett nytt byggsätt baserat på V-spår och koplanara transmissionsledningar.

Tekniken är billig och fungerar upp till åtminstone 40 GHz.

Med en vanlig CMOS-process har amerikanska forskare från National Institute of Standards and Technology, NIST, tillsammans med kaliforniska företaget RF Microsystems framställt en vågledare i kisel med mycket låga förluster.

Det öppnar möjligheter att bygga billiga integrerade mikrovågssystem i kisel. Tanken är att kombinera byggblock som sensorer, antenner, transmissionsledningar och aktiva delar i samma krets.

Transmissionsledningar är visserligen inget nytt, men när de tillverkats på kisel har förlusterna varit höga, runt 38 dB/cm. För att lösa problemet har forskarna lagt till ett processteg och etsat ett V-spår under den koplanara transmissionsledningen. Förlusterna minskar då till 4 dB/cm och utbredningshastigheten blir nästan densamma som i fri rymd.

Transmissionsledningen är koplanar, det vill säga signalledaren är omgiven av en jordledning på vardera sidan. Den är rak och har impedansen 50?.

Per Henricsson