Micronova består av två delar som drivs gemensamt av forskningsinstitutet VTT och Aaltouniversitetet. De äldre maskinerna för 150 mm har antingen bytts ut eller uppgraderats till 200 mm.

– Vårt mål är att bygga ett ledande europeiskt renrum och ekosystem för forskning och pilotproduktion inom mikroelektronik, som stödjer forskning, utveckling, innovation, piloter och industrialisering. Våra kunder och partners kommer att dra stor nytta av VTT:s nya kapaciteter. Denna investering är en del av en bredare strategi genom vilken VTT och Finland stärker sin ledande roll i det europeiska ekosystemet för specialiserad mikroelektronik, säger Piia Konstari på VTT i ett pressmeddelande.

Arbetet startade redan 2019 och har finansierats av Business Finland, det finska forskningsrådet, EU-projektet Prevail och VTT.

200 mm passar tillämpningar som mikromekanik, rf-kretsar, analoga kretsar, fotonik och kvantteknik.

Dessutom gör övergången det enklare att använda substrat för specialprocesser som kisel-på-isolator, delvis processade skivor från vanliga CMOS-processer, att göra waferbondning av två skivor och kapsling av hela skivor.

Tilläggas kan att tillverkning av maskiner för mindre skivstorlekar liksom service av dessa stadigt minskar, något som också förklarar uppgraderingen.

Foto: Vesa Kippola