Igår gick det officiella startskottet för NanoIC, EU:s pilotlina hos det belgiska forskningsinstitutet Imec för CMOS-processer på 2 nm eller mindre. Investeringen uppgår till 2,5 miljarder euro.
NanoIC huserar i ett nybyggt renrum på 2000 kvadratmeter och är den dyraste av de fem pilotlinor som EU investerar i inom ramen för Chips JU, forskningsdelen av Chips Act.
EU och den flamländska delstatsregeringen står för 1,1 miljarder euro medan företag bidrar med resten. Störst av dessa är inte oväntat litografijätten ASML.
Företaget ska leverera sin mest avancerade litografimaskin – High NA EUV – redan i mitten av mars.
Under de kommande fem åren ska pilotlinan installera mer än hundra nya verktyg, fördelade mellan Imec och övriga deltagare i NanoIC, det vill säga CEA-Leti (Frankrike), Fraunhofer (Tyskland), VTT (Finland), CSSNT-UPB (Rumänien) samt Tyndall National Institute (Irland).
NanoIC ska ta fram CMOS-processer för 2 nm och finare. Häromdagen släppte pilotlinan modeller, regler och bibliotek (PDK) för sin kommande A14-process med integrerat minne, så kallat eDRAM. Det är dock inte sagt när de första kretsarna ska tillverkas.