I fjol började Intel sampla kretsar på 22 nm, och nyligen har volymproduktionen av processorfamiljen Ivy Bridge dragit igång. Håller planerna kan Intel börja sampla kretsar på 14 nm redan nästa år, och år 2015 är det dags för 10 nm.
Företaget arbetar också med grundläggande tekniker som litografi och materialval för 7 nm och 5 nm.
Intel har en budget för forskning och utveckling på i runda slängar två miljarder dollar per, år och företagets vd Paul Otellini uppges ha varit säker på att 14 nm-processen kommer att hålla tidsschemat.
Företaget har redan dragit igång arbetet med att förbereda fabrikerna i Oregon, Arizon och Irland för 14 nm.
Intel satsar också hårt på att ta sig in på marknaden för kretsar till smartmobiler och läsplattor som idag domineras av brittiska Arm. Ett led i det är tillverkningstekniken där Intels mobilkretsar idag tillverkas i 32 nm. Nästa år kommer mobilkretsar i 22 nm och året därpå 14 nm.
Konkurrenterna är hänvisade till foundryn som TSMC, som ligger ett par år efter Intel vad gäller processgenerationer.