Xforge PVT och Xforge HT är två maskiner från uppstartaföreget Teksic (TekSiC). Den första används för att växa kiselkarbidkristaller, så kallade boules, som sedan skivas upp till wafrar. Den andra används för att värmebehandla bland annat 3D-printade komponenter.
– Efter en del prototyparbete så CE-märkte vi till slut vår Xforge. Vi har jobbat med utvecklingen av Xforge PVT och Xforge HT parallellt och marknadsför dem båda samtidigt nu, skriver Martin Eriksson på Teksic till Elektroniktidningen.
PVT-varianten är utvecklad för att växa SiC-boules (kristaller i kiselkarbid) som sedan skivas upp till wafrar. Dessa används för att tillverka kraftkomponenter till framförallt fordonsindustrin men kan också användas för rf-komponenter och som bas för galliumnitridkomponenter.
Ugnen är av typen PVT (Physical Vapor Transport). PVT är den vanligaste metoden för att tillverka en kiselkarbidkristall, som på fackspråk kallas för en boule. Den blir till en "puck" efter att den har bearbetats (slipats) till rätt form innan den i nästa steg skivas upp till tunna skivor som slutligen blir wafrar när de bearbetats klart i flera steg.
Metoden bygger på att man utgår från en wafer av rätt storlek och sedan låter kristallen växa från den.
Uppvärmningen av ugnen sker genom induktion och maskinen är modulär och programmerbar för att passa i både forskningsprojekt och för volymproduktion av skivor upp till åtta tum.
HT-varianten, där HT står för High Temperature riktar sig till kunder som vill köra värmebehandlingar i höga temperaturer samtidigt som man kontrollerar miljön i processkammaren – man kan välja mellan vakuum, inerta gaser eller reaktiva gaser. Ett exempel på användningsområde är att få bort restspänningar i 3D-utskrivna komponenter i högtemperatursmaterial såsom Niob, Tantal och Volfram som används inom flyg, medicin och kärnkraftsapplikationer.