... standard. "Our aim is to become a supplier of stepper manufacturers like ASML, Canon and Nikon. So far, there is a huge interest," says CEO Bert Junno. Innolite was set up last autumn by researcher ...
... lsättning är att bli underleverantör till de företag som tillverkar projektionslitografi (stepper), exempelvis ASML, Canon och Nikon. Intresset hittills har varit mycket stort, berättar företagets vd B ...
... nu ska få utökade resurser. Holländska ASMLs beslut att överge eLith och Scalpel kom efter att företagets kunder sagt sig föredra extrem-UV-tekniken. ASML är även involverat i utvecklingen av den t ...
... totypsystem som vid 13,4 nm kan skapa mönster ner till 70 nm. Prototypsystemet visar att många av de problem som extrem-UV brottats med nu är lösta eller åtminstone på väg att lösas. Trots att mycket a ...
... ysföretaget RHK. Ett annat lyckat samarbete är mellan tyska Carl Zeiss och holländska ASML. De båda företagen har utvecklat litografiutrustning för 300 mm-skivor inom Medeas ram men samarbetet började re ...
... policy att delta i utvecklingen av samtliga framtida litografitekniker. ASML deltar även i det europeiska Euclides- programmet som siktar till att utveckla extrem UV-teknik. Samarbetet med Lucent kommer troli ...