About / Advertise
Ny processteknik sägs kunna tillverka upp till 30 procent fler kiselskivor per timme. Det ger en väsentlig kostnadsminskning menar utvecklarna.
Amerikanska Silicon Valley Group, SVG, har lanserat ett system för hantering och ytbeläggning av kiselskivor, som främst tack vare en sexkantig tillverkningslina och förbättrade robotrörelser kan öka tillverkningskapaciteten för 200 och 300 tums kiselskivor med upp till 30 procent.
Systemet, som konstruerats speciellt för djup-UVlitografering, gör att litografiprocessen kan genomföras med 12 istället för normala 16 robotrörelser per kiselskiva. Dessutom har det konstruerats för att undvika de processtopp och förseningar, som enligt det amerikanska företaget är typiska för konventionella tillverkningssystem.
Konventionella system är baserade på en linjär processuppläggning, som innebär att kiselskivor flyttas från ett processteg till ett annat utefter ett linjärt spår. I SVGs system, ProCell, sker istället tillverkningen runt en sexkant, vilket ger förenklade robotrörelser. Systemet klarar att hantera fler än 40 kiselskivor samtidigt. Det innebär att fyra robotar kan klara fler än 100 kiselskivor per timme, hävdar företaget.
Planerar turordningen
Företaget har också utvecklat ett styrprogram, en ytbeläggningsteknik och en metod som innebär att sköljningstiden kan halveras. Styrprogrammet räknar ut den effektivaste processföljden. Systemet bestämmer sedan turordningen för varje enskild kiselskiva. Företagets spinnbeläggningteknik ger en jämn ytbeläggning trots att rotationshastigheten halverats.
En annan innovativ teknik som företaget utvecklat möjliggör tillverkning ner till 0,20 μm i system specificerade för 0,35 μm, utan byte av vare sig stepper- eller scannerutrustning. Denna teknik är dock företaget mer förtegen om eftersom den ännu inte är fullt patenterad.
Gittan Cedervall
