Motorola har tillsammans med Numerical Technologies lyckats pressa gränsen för vad som är möjligt med dagens optiska litografiteknik ner till en ritad kanallängd på 0,11 μm.
Redan till sommaren kommer den första PowerPC-processorn med Altivectillägget som är tillverkad med den nya litografitekniken. Den ger Motorola möjlighet att tillverka transistorer med en ritad kanallängd på 0,11 μm. Processen i övrigt är dock på 0,18 μm.
Billig uppgradering
Genom att använda en kombination av fasskiftesteknik och ett optiskt korrigeringssystem är det möjligt att använda en standardljuskälla på 248 nm trots att ljusvåglängden egentligen är större än linjebredden.
Fasskiftestekniken ger de smalare linjerna och det optiska korrigeringssystemet korrigerar mönstret som ska ingraveras på kiselskivan.
För halvledartillverkarna betyder genombrottet att mycket pengar kan sparas när litografiutrustningen går att uppgradera istället för att kassera.
En litografiutrustning kostar i storleksordnigen 6 miljoner dollar per styck.