About / Advertise
Motorola och Siemens blev först med att tillverka en fungerande krets från en 300 mm kiselskiva.
Ett år efter starten av Semiconductor 300 har de första fungerande kretsarna sett dagens ljus. Det blev ett 64 Mbit DRAM tillverkat i en 0,25 μm-process. Semiconductor 300 är ett samarbete mellan Motorola och Siemens för att ta fram produktionsteknik för 300 mm (12 tum) kiselskivor. Projektet drivs i tyska Dresden där Siemens har en stor DRAM-fabrik.
- Vi är först med att ha en komplett produktionslina för 300 mm-skivor, säger Peter Kuecher på Semiconductor 300.
Vill spara pengar
Drivkraften för att ligga först i spåret är att större skivor kan ge lägre produktionskostnader. Företagen säger sig kunna spara upp till 30 procent. Det förutsätter dock att man får samma utbyte som för 200 mm-skivor eftersom utrustningen för 300 mm blir dyrare.
- Vi hoppas kunna köra igång volymproduktionen år 2001, säger Peter Kuecher.
För Siemens kommer det att innebära DRAM på 1 Gbit medan Motorola, som inte längre tillverkar DRAM, får anpassa processen till logik eller SRAM-kretsar.
Nästa steg i utvecklingsarbetet blir att gå ned i linjebredd. Under nästa år ska man gå ner till 0,2-0,18 μm och året därpå till 0,15 μm.
Projektet är budgeterat till 863 miljoner dollar varav maskiner och lokaler kostar 268 miljoner dollar medan utvecklingskostnaderna är beräknade till 595 miljoner dollar. Företagen behöver dock inte betala allting själva. Tyska staten skjuter till 111 miljoner dollar och delstaten Sachsen 71 miljoner dollar.
Per Henricsson
