Utvecklingen ska omfatta såväl produktionsutrustning som material och processer. Den kiseldioxid som utgör dielektrikum i dagens halvledarkretsar fungerar inte vid dessa dimensioner, och därför kommer fokus att ligga på att ta fram andra material med högre dielektricitetskonstant. Hälften av ansträngningarna ska sättas in här.
Ett trettiotal forskare
Metoder att deponera dessa i atomtjocka lager ska också tas fram, liksom kunskap om materialens elektriska egenskaper och tillförlitlighet. Dessutom ingår elektrodmaterial och transistorstrukturer bland forskningsämnena, liksom processer för torretsning. ämnenas miljöpåverkan ska också utredas.
Ett trettiotal forskare ska jobba med projektet på Imecs huvudkontor i belgiska Leuven. Flera av dem kommer dock formellt att vara anställda av Sematech, vilket blir första gången som konsortiet bedriver forskning utanför USA.
Adam Edström