About / Advertise
Nystartade svenska Innolite har goda chanser att bli den som förser framtidens litografiska tillverkningsutrustning med en effektiv ljuskälla. Företagets teknik röner stort intresse bland världens utrustningsjättar i och med att ljuskällan är den sista springande punkten i arbetet med en fungerande EUV-process.
Extrem-UV vinner alltmer stöd inom branschen som den teknik som ska utnyttjas i framtidens litografiska tillverkningsutrustning. Och svenska Innolite, avknoppat från KTH i Stockholm, håller på att utveckla en ljuskälla som man tror har goda chanser att bli utrustningsbranschens framtida standardlösning.
- Vår målsättning är att bli underleverantör till de företag som tillverkar projektionslitografi (stepper), exempelvis ASML, Canon och Nikon. Intresset hittills har varit mycket stort, berättar företagets vd Bert Junno.
Innolite startades i höstas av forskare vid institutionen för fysik på KTH och riskkapitalbolaget Itact. I januari i år kom företaget igång på allvar och redan efter en vecka anlände de första intresserade besökarna. Vilka eller varifrån, vill dock Bert Junno inte svara på.
- Vi har diskussioner igång med flera utrustningstillverkare. Just nu jobbar vi med att uppfylla de specifikationer som de gett oss innan ett formellt samarbete kan börja. Förhoppningsvis kan det ske under året. Hittills har allt gått snabbare än vi räknat med, säger han.
Företagets ljuskälla är baserad på teknik som utvecklats av professor Hans Hertz forskargrupp vid KTH under mer är tio år. Tekniken innebär att flytande xenon utnyttjas i det laserplasma som ska ge 13,5 nm, den ljusvåglängd som extrem-UV-tekniken baseras på. Användningen av ädelgasen xenon i flytande form är patentskyddad och har en rad fördelar jämfört med alternativen.
- Genom att utnyttja en vätska får vi högre densitet i plasmat ,det vill säga starkare ljus. Dessutom är xenon betydligt mindre reaktivt än exempelvis flytande litium, som andra har arbetat med, berättar Bert Junno.
Flytande litium anses enligt Bert Junno inte längre som en tänkbar teknikkandidat av det industrikonsortium med Intel i spetsen som stöder utvecklingen av extrem-UV-tekniken. Litium skulle nämligen ge utrustningen alltför kort livstid genom att det snabbt eroderar speglar och andra komponenter.
Hittills har Innolite åtta heltidsanställda, men rekrytering av ytterligare personal sker kontinuerligt. Siktet är inställt på en personalstyrka på mellan 10 och 25 mot slutet av året. Flera KTH-doktorander är dessutom knutna till företaget på deltid i väntan på att de ska bli klara med sina avhandlingar. Hans Hertz agerar konsult på deltid och finansiären Itact tar aktiv del i företaget.
- Vi ställer upp med mer är riskkapital. Vi har bland annat rekryterat vd:n Bert Junno, förmedlat viktiga kontakter i USA och fixat lokaler. Nu ska vi bidra till marknadsföringen genom att understödja framtagningen av en grafisk profil, en logotype och en hemsida, säger Stefan Lindskog på Itact.
Enligt Itacts filosofi ska företag som Innolite, som har teknik i världsklass att erbjuda, inte behöva genomgå någon garagefas, utan fungera professionellt redan från början.
- Vår målsättning är att bli underleverantör till de företag som tillverkar projektionslitografi (stepper), exempelvis ASML, Canon och Nikon. Intresset hittills har varit mycket stort, berättar företagets vd Bert Junno.
Innolite startades i höstas av forskare vid institutionen för fysik på KTH och riskkapitalbolaget Itact. I januari i år kom företaget igång på allvar och redan efter en vecka anlände de första intresserade besökarna. Vilka eller varifrån, vill dock Bert Junno inte svara på.
- Vi har diskussioner igång med flera utrustningstillverkare. Just nu jobbar vi med att uppfylla de specifikationer som de gett oss innan ett formellt samarbete kan börja. Förhoppningsvis kan det ske under året. Hittills har allt gått snabbare än vi räknat med, säger han.
Företagets ljuskälla är baserad på teknik som utvecklats av professor Hans Hertz forskargrupp vid KTH under mer är tio år. Tekniken innebär att flytande xenon utnyttjas i det laserplasma som ska ge 13,5 nm, den ljusvåglängd som extrem-UV-tekniken baseras på. Användningen av ädelgasen xenon i flytande form är patentskyddad och har en rad fördelar jämfört med alternativen.
- Genom att utnyttja en vätska får vi högre densitet i plasmat ,det vill säga starkare ljus. Dessutom är xenon betydligt mindre reaktivt än exempelvis flytande litium, som andra har arbetat med, berättar Bert Junno.
Flytande litium anses enligt Bert Junno inte längre som en tänkbar teknikkandidat av det industrikonsortium med Intel i spetsen som stöder utvecklingen av extrem-UV-tekniken. Litium skulle nämligen ge utrustningen alltför kort livstid genom att det snabbt eroderar speglar och andra komponenter.
Hittills har Innolite åtta heltidsanställda, men rekrytering av ytterligare personal sker kontinuerligt. Siktet är inställt på en personalstyrka på mellan 10 och 25 mot slutet av året. Flera KTH-doktorander är dessutom knutna till företaget på deltid i väntan på att de ska bli klara med sina avhandlingar. Hans Hertz agerar konsult på deltid och finansiären Itact tar aktiv del i företaget.
- Vi ställer upp med mer är riskkapital. Vi har bland annat rekryterat vd:n Bert Junno, förmedlat viktiga kontakter i USA och fixat lokaler. Nu ska vi bidra till marknadsföringen genom att understödja framtagningen av en grafisk profil, en logotype och en hemsida, säger Stefan Lindskog på Itact.
Enligt Itacts filosofi ska företag som Innolite, som har teknik i världsklass att erbjuda, inte behöva genomgå någon garagefas, utan fungera professionellt redan från början.
Gittan Cedervall
