Probstationen används för att mäta olika rf- och likspänningsparametrar på rf-kretsarna innan wafern delas upp och chipsen kapslas. S680-serien klarar frekvenser upp till 40 GHz.
- Tidigare måste det stå en rf-kunnig ingenjör i produktionslinan för att kolla att mätvärdena var vettiga, det behövs inte längre.
För att göra probstationen så enkel att använda har Keithley gjort tre förändringar: det är numera lika enkelt att byta kortet med rf-probarna som probarna för likspänningsmätningar, probarna kalibreras automatiskt mellan mätningarna och slutligen så bestämmer probstationen själv, utgående från mätvärdena, hur hårt probarna ska tryckas mot wafern för att det ska bli bra kontakt och därmed 50 ohms impedans.
Per Henricsson