JavaScript is currently disabled.Please enable it for a better experience of Jumi. Spröt som inte spretar

Acreoforskarna utgår ifrån 4 tumsskivor av SOI-substrat (Silicon on insulator) med två kisellager och ett mellanliggande kiseldioxidlager.
Med dubbelsidig litografi och torretsning skapas en tjockare basplatta och 2-8 tunna kiselspröt försedda med kvadratiska iridium- eller platinaelektroder.
På de upp till 10 mm långa kiselspröten löper 1 μm breda ledare som förbinder elektroderna med kontaktpaddar i guld på basplattan. Vanlig trådbondning förbinder kontaktpaddarna med det flexibla mönsterkort som också utvecklats av Acreo.
Den största utmaningen har varit att tillverka tunna ledarbredder på tunna skaft som samtidigt är så pass långa. En annan stötesten har varit att trimma in de tre filmerna på kiselspröten så att spröten blir plana. Tidigare spretade spröten uppåt som ögonfransar, på grund av krafter som uppstår mellan filmerna och kislet. Signalerna som uppmätts är några 100 μV.

Charlotta von Schultz

Prenumerera på Elektroniktidningens nyhetsbrev eller på vårt magasin.


MER LÄSNING:
 
KOMMENTARER
Kommentarer via Disqus

Anne-Charlotte Lantz

Anne-Charlotte
Lantz

+46(0)734-171099 ac@etn.se
(sälj och marknads­föring)
Per Henricsson

Per
Henricsson
+46(0)734-171303 per@etn.se
(redaktion)

Jan Tångring

Jan
Tångring
+46(0)734-171309 jan@etn.se
(redaktion)