JavaScript is currently disabled.Please enable it for a better experience of Jumi. KTH-forskare skapar pelare i kisel

Forskare på KTH har skapat pelare i kisel med proportioner som flaggstänger men dimensioner som ledare på kisel. Nu letar de efter metoder att minska skalan ytterligare och efter tillämpningar för sina strukturer.
Mikropelaren som etsats i kiselskivan är cirka 120 mikrometer hög och tre mikrometer bred.

Foto: KTH
Tekniken för att skapa mikropelarna har utvecklats av forskare på avdelningen för Mikroelektronik och Informationsteknik på Electrum i Kista som en del i ett forskningsprojekt om poröst kisel.

- När vi forskat på poröst kisel har vi lärt oss en hel del om elektrokemisketsning, säger Jan Linnros, forskningsledare i projektet.

De kunskaperna har han nu tagit tillvara för att med en elektrokemisk metod etsa 120 mikrometer höga, men bara två till tre mikrometer breda, pelarlika strukturer på en kiselskiva. Etsmetoden är ett mellanting mellan elektropolering, som skapar en helt plan yta på kislet, och porös etsning som skapar porer över hela kiselytan. Den elektrokemiska metoden klarar att skapa strukturer med mycket högre skillnad mellan höjd och bredd än vad som är möjligt med en konventionell plasmaetsning.

- Det visar sig att om man har strukturer skapade med konventionell fotolitografi så går det att fortsätta etsa och bevara dem till flera 100 mikrometes djup, säger Jan Linnros.

De första pelarna tillverkades för ungefär ett år sedan och nu när forskningsresultaten presenterats vill forskarna gå vidare och skala ner strukturerna till nanometerstorlek.

- Den elektrokemiska etsningen fungerar ner till några nanometers storlek och mönstret kan skapas med elektronstrålelitografi.

Om man lyckas skapa pelarna i nanometerstorlek tror Jan Linnros att de kan bli intressanta att använda inom mikro- och nanomekanik eller bioteknik, men ännu finns inga specifika tillämpningar.


Jonas Ryberg

Prenumerera på Elektroniktidningens nyhetsbrev eller på vårt magasin.


MER LÄSNING:
 
KOMMENTARER
Kommentarer via Disqus

Anne-Charlotte Lantz

Anne-Charlotte
Lantz

+46(0)734-171099 ac@etn.se
(sälj och marknads­föring)
Per Henricsson

Per
Henricsson
+46(0)734-171303 per@etn.se
(redaktion)

Jan Tångring

Jan
Tångring
+46(0)734-171309 jan@etn.se
(redaktion)