JavaScript is currently disabled.Please enable it for a better experience of Jumi. Kanallängd spretigt begrepp
Med kanallängd menas styrets längd, alltså avståndet mellan source och drain på en MOS-transistor.Den kan anges på ett antal olika sätt som naturligtvis har kopplingar till varandra, men som även är starkt processberoende.
Vanligtvis anges den ritade kanallängden, som mäts på fotomasken och även kallas masklängd. Den avbildas på kiselskivan genom litografi och etsning till en kanallängd, som kan vara längre eller kortare än masklängden. Dessutom varierar kanallängden med processtoleranser; en och samma masklängd kan ge olika kanallängd på olika chips, på olika kiselskivor, för olika körningar.

Kanallängden är alltså en viktig parameter för att styra processer, men dessvärre är den svår att mäta. Vanligtvis använder kiselfabrikanterna scanelektronmikroskop för stickprov på kiselskivan.

Ett annat frågetecken är var på styret man egentligen mäter. När etsprofilen lutar så kan man ju fråga sig om det är styrets övre eller undre dimension man talar om.

Ett annat mått, som också är svårt att mäta, är den metallurgiska kanallängden, vilket motsvarar avståndet mellan metallurgiska förbindelsen på source- och draindiffusionen.

Ett vanligare mått är den effektiva kanallängden som faktiskt inte är ett fysiskt mått utan beräknas utifrån transistorns elektriska egenskaper. Man utnyttjar då det faktum att vissa resistanser hos transistorn är proportionella till kanallängden.

Charlotta von Schultz
MER LÄSNING:
 
KOMMENTARER
Kommentarer via Disqus

Anne-Charlotte Lantz

Anne-Charlotte
Lantz

+46(0)734-171099 ac@etn.se
(sälj och marknads­föring)
Per Henricsson

Per
Henricsson
+46(0)734-171303 per@etn.se
(redaktion)

Jan Tångring

Jan
Tångring
+46(0)734-171309 jan@etn.se
(redaktion)