Företaget ska anlita en extern part för att komma överens med de drabbade och deras familjer om skäliga ersättningar.
Kraven på Samsung att ta ansvar har växt sedan en arbetare i en av företagets halvledarfabriker avled i leukemi år 2007. Enligt familjen exponerades hon för farliga kemikalier i fabriken.
En domstol slog år 2011 fast att det var troligt att sjukdomen förorsakats av kemikalier i fabriken. Det finns åtminstone 56 dokumenterade fall av leukemi och andra blodsjukdomar bland arbetarna på fabriken.
Samsung har länge försökt tysta ned problemet, men nu ser det ut som att företaget tar sitt ansvar.