About / Advertise
Täbyföretaget Micronic Laser Systems har tagit fram en ny generation laserritare för avancerade TFT-bildskärmar. En maximal upplösning på 0,75 mikrometer ger dubbelt så hög upplösningen som företagets tidigare TFT-ritare.
- Vi har förbättrat upplösningen drastiskt, från 1,5 till 0,75 mikrometer. Det ger de nödvändiga förutsättningarna att rita gråtonsmasker och masker för "low temperature poly silicon" (LTPS), vilket kommer att behövas för nästa generations TFT-displayer, säger Ulf Sundström på Micronic.Enligt honom är Micronic de enda i hela världen som förser marknaden med det här upplösningskravet.
- Marknaden för TFT-maskritare ligger mellan 30 och 50 miljoner dollar per år, konstaterar Ulf Sundström nöjt.
Micronic tillverkar laserritare för framställning av fotomasker till halvledar- och bildskärmsindustrin. Med fotomasker från den nya laserritaren LRS11000-TFT3 kan stora LTPS-bildskärmar produceras utan att man behöva foga samman många små fotomasker, vilket kraftigt ökar produktiviteten.
En annan nyckelfunktion är realtidsdatakanalen med högre kapacitet för att möta kraven på ökad mönstertäthet, som är ett resultat av den högre upplösningen. Linjebreddshållningen är förbättrad och systemet har en noggrannhet i mönsterplacering som är bättre än 120 nanometer. Laserritaren har fått förbättrad multistråleteknik för att bibehålla hög rithastighet.
Torun Bager
