IEC 62047 är fastställd som svensk standard SS-EN 62047 av SEK. I standarden finns även metoder för provning av kompletta MEMS-komponenter som elektroniska kompasser (SS-EN 62047-19).
Den fastställdes så sent som i december liksom SS-EN 62047-11 för bestämning av längdutvidningskoefficienten och SS-EN 62047-18 för böjprovning av tunnfilmsmaterial.
På gång är också testmetoder för draghållfasthet hos ledande film på flexibla substrat och bestämning av Poissons tal för tunnfilmsmaterial.
Standarderna kan köpas från SEK:s hemsida och kosta mellan 400 och 700 kronor (länk)