About / Advertise
Lundaföretaget Epiluvac ska sälja japanska Samcos MOCVD-maskiner i Norden samtidigt som det svenska företaget får en försäljningskanal i Japan.
– I stort sett kan man säga att våra och Samcos produkter kompletterar varandra. Samcos tonvikt ligger på etsar, utrustning för rengöring men även CVD. De har till exempel etsar som kan användas för att etsa kiselkarbid vid tillverkning av kraftkomponenter. När det gäller CVD har de ett par olika PECVD-system som är lite enklare utrustningar. När det gäller MOCVD har de en komplex multi-wafer reaktor för GaN men de har ingen CVD för SiC, skriver Roger Nilsson på Epiluvac i ett mail till Elektroniktidningen.
Epiluvac grundades år 2013 i Kista men har huvudkontoret i Lund samtidigt som mycket av tekniken är utvecklad vid Linköpings universitet.
Epitaxiutrustningen från Epiluvac ger hög materialkvalitet men klarar inte mer än maximalt tre skivor åt gången. Den används primärt för forsknings- och utvecklingsverksamhet men fungerar också för småskalig produktion.
– Konstruktionen togs fram vid Linköpings universitet för flera år sedan och är unik på så sätt att alla väggar inuti reaktorn är ungefär lika varma (eng: hot-wall reactor). Denna reaktortyp har också konverterats för GaN vid Linköpings universitet och då visat sig fungera alldeles utmärkt och den har hävdat sig mycket väl gentemot andra reaktortyper, förklarar Roger Nilsson.
