Svenska Epiluvac är på gång
Uppstartsföretaget Epiluvac – som leverera utrustning för kiselkarbidepitaxi – har fått en order på en reaktor från ett ledande forskningscenter i Europa. Installation och driftsättning ska ske under årets första kvartal.Tekniken som reaktorn är baserad på – hot-wall CVD – har sitt ursprung i Linköpings universitet, där den en gång i tiden utvecklades. Reaktortypen har enligt Epiluvac sedan tidigare använts i forsknings- och utvecklingslabb världen över och är känd för sin goda kvalitet.
– Vår reaktorkonstruktion är extremt lovande och vi är verkligen mycket nöjda med att vi kan erbjuda den till marknaden. Det finns inget liknande någonstans i världen i dag, säger Bo Hammarlund, vd för Epiluvac i ett pressmeddelande.
Den svenska reaktorn, EPI-1000X, har ett gasflöde och upphettningssystem som är unikt, och potential att drastiskt minska problem med partiklar och parasiter vid deponering, menar företaget.
Reaktorn hanterar emellertid enbart en wafer, men eftersom deponeringen görs extremt snabbt och med hög noggrannhet kan den även vara intressant för produktion enligt företaget.
EPI-1000X, svensk hot-wall CVD-reaktor