Vario III heter det senaste ultraljudsmikroskopet från tyska Krämer Scientific Instruments, och det klarar svepfrekvenser upp till 500 MHz - föregångaren var begränsad till 300 MHz. Vario III ställer också om snabbare mellan olika frekvenser.
Ultraljudsscanning kan användas för att hitta dolda fel i en komponent eller ett kretskort, i tre dimensioner så att man ser på vilket djup felet finns, och utan att förstöra testobjektet. Samma teknik kan också ge besked om mekaniska egenskaper, som till exempel hårdhet eller densitet.
Den maximala bildupplösningen hos Vario III är 4 096 x 4 096 pixlar, och den mekaniska upplösningen i x- och y-led ligger på 0,1 μm. Den yta som ska avsökas kan vara upp till 300 x 300 mm. Skärpeinställningen i z-led är automatisk.
Scanning och felrapportering kan automatiseras om man vill använda Vario III för produktionstester. Instrumentet kör Windows 2000 och har inbyggd programvara för loggning och diverse statistikframtagning.