Internationellt projekt för 300 mm-teknik

(Elektroniktidningen, Austin, Texas)

När USA, Europa och Sydostasien samarbetar, då står japanerna utanför.

Inom det amerikanska forskningskonsortiet Sematech satsar tretton av världens halvledartillverkare på ett pilotprogram för kiselskivor med diametern 300 mm (12 tum).

Det nya programmet kallas International 300 millimeter Initiative, I300I, och de tretton medverkande företagen kommer att satsa totalt 26 miljoner dollar under 18 månader. Exakt vilka de tretton är vill Sematech inte avslöja just nu, bara att tre är europeiska, tre koreanska, ett taiwanesiskt och resten, det vill säga sex, är amerikanska. Utifrån detta kanske man kan gissa själv.

Japanerna står utanför

De japanska företagen har tackat nej till att vara med, och har i stället bildat ett eget konsortium.

Sematech är ett amerikanskt forskningskonsortium för halvledartillverkning. Konsortiet startades 1988 för att USA skulle kunna återta sin position som världens största halvledartillverkare. Fokus har legat på tillverkningsteknologi och inte på enskilda kretsar.

Hittills har Sematech delvis finansierats av de tio medlemsföretagen och delvis av regeringen via försvarsdepartementets ARPA, Advanced Research Projects Agency.

Inga federala pengar

Medlemmar är alla de stora halvledartillverkarna, bland andra AMD, Intel, IBM, National Semiconductor, Motorola, Texas Instruments. Men nu när USA åter har blivit störst på halvledartillverkning drar den amerikanska regeringen in sin finansiering från och med nästa budgetår.

- Vi får mera frihet nu, säger Frank Squires, Sematechs vice ordförande. Vi behöver inte ge amerikanska skattebetalare valuta för deras pengar längre, och då öppnas dörrarna för utomamerikanska företag att vara med i projekten, som i till exempel I300I.

Volymproduktion 1998

De mest optimistiska företagen i tolvtumsprojektet tror att volymproduktion av 300-millimetersskivor kan inledas under 1998, andra tror att de tar ett till två år till.

En tolvtumsfabrik kommer att kosta 2,5 till 3,5 miljarder dollar att bygga, enligt Sematechs uppskattningar, vilket kan jämföras med en prislapp på 1-1,5 miljarder dollar för dagens fabriker för 200 mm-skivor (8 tum).

I jämförelse med dessa siffror kan 26 miljoner dollar tyckas futtigt, men Sematech är noga med att poängtera att detta bara är ett pilotprojekt.

- Vi tror att vi kommer att stimulera andra att investera i forskning om tillverkning av 300-millimetersskivor, säger Frank Robertson, chef för I300I.

Inom I300I ska företagen arbeta fram gemensamma internationella standarder för kiseltillverkarna, och koordinera och samordna mätmetoder för prestandamätningar. Den viktigaste uppgiften är kanske att testa och demonstrera utrustning för tillverkning av tolvtumsskivor.

Såsom tidplanen ser ut kommer man att ägna 1996 åt koordination mellan utrustnings- och kiseltillverkare. Nästa år kommer man att börja demonstrera utrustning för tillverkning av skivor med linjebredder på ner till 0,25 μm, och samtidigt definiera parametrar för utrustning för 0,18 μm-tillverkning.

Civil ingång

Projektet kommer delvis att genomföras vid Sematechs forskningsfabrik i Austin. Några anställda från varje deltagande företag kommer också att arbeta ute hos utrustningsleverantörerna.

På Sematechs Austinanläggning har man tidigare enbart sysslat med forskning för att stärka amerikanska intressen, ofta militära. Nu när européer och asiater släpps in kommer man att bygga en separat ingång, för att undvika industrispionage.

Mikael Zackrisson