Kanallängden är alltså en viktig parameter för att styra processer, men dessvärre är den svår att mäta. Vanligtvis använder kiselfabrikanterna scanelektronmikroskop för stickprov på kiselskivan.
Ett annat frågetecken är var på styret man egentligen mäter. När etsprofilen lutar så kan man ju fråga sig om det är styrets övre eller undre dimension man talar om.
Ett annat mått, som också är svårt att mäta, är den metallurgiska kanallängden, vilket motsvarar avståndet mellan metallurgiska förbindelsen på source- och draindiffusionen.
Ett vanligare mått är den effektiva kanallängden som faktiskt inte är ett fysiskt mått utan beräknas utifrån transistorns elektriska egenskaper. Man utnyttjar då det faktum att vissa resistanser hos transistorn är proportionella till kanallängden.
Charlotta von Schultz