Micronics laserritare till halvledarindustrin

Svenska Micronic Laser System har sålt sina första laserritare till halvledarindustrin. Maskinerna klarar att rita fotomasker för 0,5 μm- processer och skall finnas i produktion mot slutet av månaden.

Micronic i Täby har fortsatta framgångar. Nu har företaget levererat sina fyra första halvledarlaserritare. Vilka kunderna är vill Per Öhqvist, kundansvarig för Micronic mot den japanska marknaden, inte säga. Men det rör sig om stora halvledartillverkare i Asien och USA. Den nya laserritaren, LRS200, klarar att rita masker till 0,5 μm-processer fullt ut. Dessutom kan den göra de flesta lagren till en 0,25 μm-process.

För att göra en integrerad krets behöver man vanligtvis mellan 15 och 25 masklager. Av dessa brukar det vara två eller tre som är mest kritiska. Det kan exempelvis vara strukturer i transistorerna. I en 0,25 μm-process klarar LRS200 att rita alla lager förutom de mest kritiska.

- Oftast använder man olika maskiner för att tillverka fotomaskerna till en integrerad krets. Våra maskiner är omkring hälften så dyra, jämfört med de som ritar de allra finaste strukturerna, säger Per Öhqvist.

Ändå är det ingen billig affär att köpa en laserritare från Micronic. En maskin kostar från 3 miljoner dollar och uppåt. Men inköpspriset är inte allt. Även driftskostnaden är mycket betydelsefull.

- Jämfört med konkurrenterna är våra maskiner även billigare i drift. Kalibreringen går snabbt och förbrukningsdetaljer som laser och filter är förhållandevis billigt. Dessutom går delarna snabbt att byta, vilket gör att driftstoppen kan göras korta, hävdar Per Öhqvist.

Nästa steg i utvecklingsarbetet är att ta fram laserritare som kan klara ännu finare geometrier.

- Nästa år kommer vi säkert att ha maskiner som klarar 0,25 μm-processer fullt ut. Kanske blir det redan i år.

Micronic utvecklar och tillverkar dessutom laserritare för framställning av fotomasker som används vid tillverkning av bildskärmar. Bland kunderna finns elektronikjättar som Toshiba, Sony, Hitachi, LG Semicon, Samsung och Philips.

I dagsläget finns sex renrum i lokalerna i Täby. Men det höga trycket på verksamheten kräver att man bygger ytterligare renrum.

- Just nu bygger vi fyra nya renrum med högre renhetsgrad än tidigare. Vi behöver dem dels för att tillverka maskinerna som gör halvledarmasker, dels för att vidareutveckla dem, avslutar Per Öhqvist.

Anna Wennberg