About / Advertise
KTH i Kista har tagit fram en bipolärprocess med kiselgermaniumbas som ligger i världsklass. Processen är en plattform för vidare komponentforskning inom snabba bipolära kiseltransistorer.
- En övergångsfrekvens på 59 GHz är faktiskt högre än vad Temic eller IBM erbjuder i sina kiselgermaniumprocesser. Det säger Jan Grahn, projektledare för bipolära processutvecklingen på KTHs labb i Kista.
- Vi är det första akademiska labbet i världen som når de här resultaten med en bipolär kretsprocess.
Den nya processen är planar med en epitaxiell bas och polykiselemitter som dopats med fosfor istället för som brukligt med arsenik.
- Vårt val av processdesign är såvitt vi känner till unik, säger Grahn.
KTHs process är inte komplett med passiva element, utan ska ses som en plattform för att ta fram mycket snabba bipolära kiseltransistorer för forskningsändamål.
Processen har tio masklager och består av cirka 70 processteg. Linjebredden är 0,5 μm, precis som i Ericssons bipolärprocesser.
Projektet är finansierat av Nutek och Stiftelsen för Strategisk forskning där det ingår i konsortiet HF Bipolar.
- Till hösten ska vi ha en ringoscillator framme som förutom kiselgermaniumtransistorer innehåller integrerade resistanser.
Även Ericsson bedriver utveckling av sina bipolärprocesser P71 och P72. KTH bistår där med deponeringen av kiselgermanium.
Per Henricsson
