About / Advertise
Hexagem utvecklar en teknik att belägga kiselwafers med GaN-epitaxi tjock nog att rymma vertikala kraftkomponenter. På sikt vill företaget licensiera ut sin teknik, men först måste det kunna visa att tekniken håller för waferstorlekar som industrin producerar på.
Idag arbetar Hexagem med wafers på 2-tum, men just nu förbereder det sig för att ta klivet till 6-tum som är den waferstorlek som potentiella kunder, som exempelvis Infineon och Bosch, arbetar på.
 |
| Mikael Björk |
– Den maskin som vi hyr på Pronano klarar upp till 6-tum, och den fungerar för att vi ska kunna göra prototyper på 6-tum, konstaterar Mikael Björk, vd på Hexagem.
Det handlar om en avancerad epitaximaskin, en så kallad MOCVD-reaktor, som används inom industrin som standard för att exempelvis lägga GaN-på-kisel.
– Det är en maskin som vi är väldigt nöjda med och vi har ett bra samarbete med personalen på Pronano där ett par kan processteknik, säger Mikael Björk.
Utöver reaktorn finns ett svepelektronmikroskop på plats som företaget använder, men det är i stort sett allt. Exempelvis saknas litografi vilket är en central del i tillverkningsprocessen.
Företagets process startar med en kiselwafer som är belagd med ett tunt GaN-lager av låg kvalitet. Ovanpå läggs ett isolerande lager, i vilket hål etsas ner till GaN-lagret. I hålen växer Hexagem sedan små GaN-pelare, så kallade nanotrådar, som på ovansidan smälter ihop till ett GaN-lager av mycket hög kvalitet.
– Kvaliteten beror av hur bra vi kan göra litografin och hur försiktiga vi är när vi öppnar upp de små hålen så att inte ytan under förstörs. Sen beror kvaliteten även på hur vi växer GaN-pelarna och hur de smälter ihop i slutänden, vilket kontrolleras under tillväxten i epitaximaskinen.
Steget från universitetslabbet till epitaximaskinen hos Pronano gör dessutom att miljön blir mycket renare, vilket direkt visar sig i resultatet.
– Sen gör en maskin som klarar 6-tum att du får en bättre uniformitet på din bricka. Det hjälper också till att förbättra kvaliteten.
Samtidigt är avsaknaden av litografi på 6-tum lite av en akilleshäl i nuläget.
– Det finns inte litografi hos Pronano, och inte heller ett par andra processteg som hade varit fantastiskt för vår del om de hade haft. Men nu är Pronano ganska nyligen startat, så kanske behöver de några fler kunder för att investera i ytterligare utrustning, säger Mikael Björk.
 Artikeln är tidigare publicerad i magasinet Elektroniktidningen.Prenumerera kostnadsfritt! |
Istället har företaget tvingats se sig runt efter andra alternativ. Ett sådant är att hitta någon som kan hjälpa till med litografin som en tjänst som Hexagem betalar för. Ett annat är att få till ett samarbete med en potentiell kund.
– Just nu diskuterar vi samarbete med potentiella samarbetspartners för att göra litografin på 6-tum. Om samarbetet faller väl ut så hoppas vi kunna demonstrera något på 6-tum under de närmaste månaderna.
Läs även: Pronano: Blir språngbräda till industrin
Ingressbild: Substrat placeras i MOCVD-kammaren för att växa kristallskikten i olika kombinationer av GaN, AlGaN eller InGaN utifrån ett specifikt ”recept”. Foto: Rise
